Zestaw pieców do procesów wysokotemperaturowych oraz LPCVD

Ogólna charakterystyka

Dwa zestawy pieców horyzontalnych do procesów firmy Termco System umożliwia przeprowadzanie w sposób powtarzalny procesów wysokotemperaturowych do zastosowań w mikro-i nanoelektronice, fotonice czy fotowoltaice.

Specyfikacja techniczna

  • Urządzenia posiadają po 3 oddzielne rury do przeprowadzania procesów wysokotemperaturowych
  • Komory procesowe umożliwiające załadunek do 50 podłóż krzemowych o średnicy 100mm i 150mm lub do 25 podłóż krzemowych o rozmiarze 200mm

Zastosowanie

  • Wygrzewanie w temperaturze do 1200°C
  • Utlenianie suche oraz mokre
  • Wykonywanie ultra cienkich warstw tlenku krzemu
  • Dyfuzja boru
  • Chemiczne osadzanie z fazy lotnej pod obniżonym ciśnieniem polikrzemu (a-Si) oraz azotku krzemu (Si3N4).