Urządzenie do osadzania warstw metodą rozpylania magnetronowego

Ogólna charakterystyka

Urządzenie do osadzania warstw metodą rozpylania magnetronowego PlasmaPro 400 firmy Oxford Instruments jest wydajnym i wszechstronnym układem mającym zastosowanie w wielu dziedzinach m. in.: elektronika półprzewodnikowa, fotowoltaika, wyświetlacze, itp.

Specyfikacja techniczna

  • Próżniowa komora załadowcza (ang. Load-lock)
  • Konstrukcja umożliwiająca wprowadzenie do komory reaktora 4 płytek podłożowych o max. średnicy 200 mm (możliwe także małe kawałki)
  • 4 magnetrony o średnicach pozwalających na osiągnięcie dobrej jednorodności warstw, w tym: 2 magnetrony DC dla metali oraz 2 magnetrony RF dla dielektryków umożliwiające realizację sekwencji procesów osadzania warstw

Zastosowanie

  • Osadzanie warstw metali Al, Ti oraz dielektryków AlN, TiO2, Al2O3, TiN
  • Osadzanie warstw wieloskładnikowych, np. TiOxNy