Elipsometria

Ogólna charakterystyka

Elipsometr spektroskopowy Uvisel2 firmy Horiba Jobin Yvon do wyznaczania m. in. grubości warstw materiałów.

Specyfikacja techniczna

  • Zakres spektralny od 190 nm do 2000 nm
  • Zakres ruchu kątowego ramion od 40°C do 90°C
  • Zakres ruchu stolika w osi X: 0 ÷ 200 mm oraz osi Y: 0 ÷ 200 mm
  • Oprogramowanie wyposażone jest w bogatą bazę materiałów umożliwiającą dopasowanie modelu do warunków pomiarowych i mierzonych materiałów

Zastosowanie

  • Wyznaczanie grubości cienkich warstw z materiałów przepuszczających lub częściowo przepuszczających światło
  • Szacowanie składu materiałów wieloskładnikowych
  • Pomiar grubości materiałów wielowarstwowych oraz wyznaczanie parametrów optycznych tych warstw
  • Mapowanie (2D) wyznaczanych parametrów (grubości i parametrów optycznych) na powierzchni próbki