Ogólna charakterystyka

Elipsometr spektroskopowy Uvisel2 firmy Horiba Jobin Yvon do wyznaczania m. in. grubości warstw materiałów.

Specyfikacja techniczna

• Zakres spektralny od 190 nm do 2000 nm
• Zakres ruchu kątowego ramion od 40°C do 90°C
• Zakres ruchu stolika w osi X: 0 ÷ 200 mm oraz osi Y: 0 ÷ 200 mm
• Oprogramowanie wyposażone jest w bogatą bazę materiałów umożliwiającą dopasowanie modelu do warunków pomiarowych i mierzonych materiałów

Zastosowanie

• Wyznaczanie grubości cienkich warstw z materiałów przepuszczających lub częściowo przepuszczających światło
• Szacowanie składu materiałów wieloskładnikowych
• Pomiar grubości materiałów wielowarstwowych oraz wyznaczanie parametrów optycznych tych warstw
• Mapowanie (2D) wyznaczanych parametrów (grubości i parametrów optycznych) na powierzchni próbki