Chemia rezystów

Ogólna charakterystyka

Zestaw urządzeń firmy Sawatec pracujących w oparciu o zdefiniowaną recepturę pozwala na obróbkę termiczną podłoży.

Specyfikacja techniczna

  • Wygrzewanie w oparach HMDS (ang. Hexamethyldisilazane)
  • Wygrzewania typu soft i hard bake
  • Stabilność temperatury płyt grzewczych do 250°C, z możliwością przeprowadzenia procesu w atmosferze azotu
  • Możliwość pracy na podłożach o średnicy do 200 mm, jak również na fragmentach

Zastosowanie

  • Wstępne przygotowanie płytki podłożowej
  • Utwardzenia rezystu nałożonego na płytkę podłożową
  • Obróbka termiczna po procesach