Elipsometr spektroskopowy

HORIBA UVISEL2

Elipsometr spektroskopowy umożliwiający wyznaczanie grubości cienkich warstw z materiałów przepuszczających lub częściowo przepuszczających światło. Możliwy jest także pomiar grubości materiałów wielowarstwowych. Lampa umożliwia dokładne skanowanie widma w zakresie od 190 do 2000nm, a zmotoryzowane ramiona są pozycjonowane w zakresie od 40 do 90 stopni. Oprogramowanie wyposażone jest w bogatą bazę materiałów umożliwiającą dopasowanie modelu do warunków pomiarowych i mierzonych materiałów. Zmotoryzowany stolik umożliwia dokładne spozycjonowanie wiązki na badanym obszarze.

Zakres spektralny:

  • Od 190 do 2000nm

Zakres ruchu kątowego ramion:

  • Od 40 do 90 stopni

Zakres ruchu stolika:

  • X: 0 ÷ 200 mm
  • Y: 0 ÷ 200 mm